Thermal Stability of Filtered Vacuum Arc Deposited Er2O3 Coatings
Notice bibliographique
Résumé
Erbium oxide (Er2O3) coatings were deposited using filtered vacuum arc deposition (FVAD) and their structure and thermal stability were studied as a function of fabrication parameters. The coatings were deposited on silicon wafer and tantalum substrates with an arc current of 50 A and a deposition rate of 1.6 ± 0.4 nm/s. The arc was sustained on truncated cone Er cathodes. The influence of oxygen pressure (P= 0.40-0.93 Pa), bias voltage (Vb= -20, -40 or grounded) and substrate temperature (room temperature (RT) or 673K) on film properties was studied before and after post deposition annealing (1273K for 1 hour, at P~ 1.33 Pa). The coatings were characterized using X-ray diffraction (XRD), optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Knoop Hardness. Optical microscope images indicated that the coatings had very low macroparticle concentration on their surface. The macroparticle diameters were less than 2.5 μm. The coatings were composed of only Er2O3 without any metallic phase under all deposition parameters tested. The coatings deposited on RT substrates were XRD amorphous and had a featureless cross-section microstructure. However, the coatings deposited on 673K heated substrates had a C-Er2O3 structure with (222) preferred orientation and weak columnar microstructure. The coating hardness varied with deposition pressure and substrate bias, and reached a maximum value of 10 GPa at P = 0.4 Pa and Vb = -40 V. The post-deposition annealing caused crystallization, and the coatings hardness dropped to 4 GPa with thermal treatment. However, after post-deposition annealing, no peeling or cracking appeared at the coating surface or the interface with the substrate.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,004 | 0,002 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».