Enhanced blue sensitivity in ITO/a-SiNx:H/a-Si:H MIS photodetectors
Notice bibliographique
Résumé
We report an ITO/a-SiNx:H/a-Si:H MIS photodetector with improved performance in terms of its dark current, stability, and spectral response in the blue region. The a-Si:H and a-SiNx:H thin film layers were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) on a glass substrate with patterned Mo back contact. The ITO was polycrystalline with a wide band gap (>3.75 eV) and was deposited at room temperature by magnetron sputtering. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometer) measurements show that an ultra thin a-SiNx:H film (a few nm) can effectively block the diffusion of oxygen from the ITO to the a-Si:H. In addition, the insulator layer provides a barrier for electrons, which serves to reduce the dark current. This is in contrast to the ITO/a-Si:H Schottky photodiode whose electrical and optical performance is impaired by the large defect density at the interface due to impurity diffusion from the ITO layer. At a reverse bias of 1 V, the dark current density of the MIS photodetector is as low as 4 nA/cm2. Photoresponse measurements show a dramatically enhanced sensitivity in the UV/blue spectral region. A high quantum efficiency (∼80%) is achieved at a wavelength of 440 nm, which can be attributed to reduction of both optical and recombination loses by virtue of the highly transparent polycrystalline ITO and the low defect density at the a-SiNx:H/a-Si:H interface.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».