Optical properties and microstructure of plasma deposited Ta2O5 and Nb2O5 films
Notice bibliographique
Résumé
Advanced optical filter applications require an appropriate control of the optical constants, as well as of other suitable film properties such as mechanical performance, thermal and environmental stability, absence of refractive index inhomogeneities, and others. In the present work we studied the characteristics of two high index optical materials, namely amorphous tantalum pentoxide (Ta2O5) and niobium pentoxide (Nb2O5) prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition, using penta-ethoxy tantalum Ta(OC2H5)5 and penta-ethoxy niobium, Nb(OC2H5)5, precursors. We particularly investigated the effect of energetic conditions on the film growth by using different modes of plasma excitation, namely rf, microwave, and dual-mode microwave/radio frequency discharges. Under sufficient ion bombardment, controlled by the rf-induced negative substrate bias, the dense Ta2O5 and Nb2O5 films exhibited a refractive index of 2.16 and 2.26 (at 550nm), respectively, while the extinction coefficient was below 10−5, as determined by spectroscopic ellipsometry, and spectrophotometry. We found that increasing ion bombardment during the film growth leads to an appreciable increase of carbon concentration, as indicated by a strong double peak at 1400 and 1500cm−1 in the Fourier transform infrared spectra. Elastic recoil detection measurements revealed an atomic concentration of 2.5% and 5.5% of carbon in the bulk of the Ta2O5 and Nb2O5 films. The presence of carbon did not appear to negatively affect the film optical and mechanical performance and stability. We discuss the relationship between the optical properties and microstructure, and the possible mechanism of carbon bonding in the form of chelate and bridging groups.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».