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Enregistrement W1585838201 · doi:10.1109/essder.2004.1356502

Back-etched super-junction LDMOST on SOI

2004· article· en· W1585838201 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.
fundUn bailleur canadien est enregistré sur le travail.

Notice bibliographique

Revuenon disponible
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSilicon Carbide Semiconductor Technologies
Établissements canadiensUniversity of Toronto
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésSilicon on insulatorDiodeOptoelectronicsBreakdown voltageEtching (microfabrication)Materials scienceSubstrate (aquarium)Siliconp–n junctionVoltageElectrical engineeringSemiconductorNanotechnologyEngineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Conventional super junction LDMOSTs (SJLDMOSTs), fabricated on an SOI substrate, suffer from low breakdown voltage due to substrate-depletion effects. In this work, a back etched SJLDMOST (BSJLDMOST) on SOI is proposed to overcome this problem by eliminating the silicon substrate under the device. The electrical characteristics of the BSJLDMOST on a 0.8 /spl mu/m SOI film were investigated. The device with 15.5 /spl mu/m of SJ region exhibits a breakdown voltage of 317 V, a specific on-resistance of 48.3 m/spl Omega/cm/sup 2/ and a charge on-resistance figure of merit of 4.1 /spl Omega/nC. To verify the back etching concept and the suppression of the substrate depletion effect, super-junction diodes (BSJDs) were implemented. These diodes feature a threefold improvement in breakdown voltage over conventional super junction diodes (SJDs) implemented without removing the silicon substrate on the back of the device. A discussion of how the BSJLDMOST can be optimized to break the silicon limit is also provided.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesCharge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,046
Score d'incertitude au seuil0,999

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,002

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,015
Tête enseignante GPT0,203
Écart entre enseignants0,188 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

En bref

Citations50
Publié2004
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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