MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W1590842594 · doi:10.1109/iedm.2002.1175825

FinFET scaling to 10 nm gate length

2003· article· en· W1590842594 sur OpenAlex

Pourquoi ce travail est dans la base

Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.

affAu moins un auteur déclare une institution canadienne dans l'instantané OpenAlex épinglé.

Notice bibliographique

Revuenon disponible
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueAdvancements in Semiconductor Devices and Circuit Design
Établissements canadiensAdvanced Micro Devices (Canada)
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésTransconductanceMaterials scienceCMOSMOSFETOptoelectronicsPlanarShort-channel effectFabricationTransistorChannel (broadcasting)Design for manufacturabilityLogic gateScalingElectrical engineeringComputer scienceEngineering

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

While the selection of new "backbone" device structure in the era of post-planar CMOS is open to a few candidates, FinFET and its variants show great potential in scalability and manufacturability for nanoscale CMOS. In this paper we report the design, fabrication, performance, and integration issues of double-gate FinFETs with the physical gate length being aggressively shrunk down to 10 nm and the fin width down to 12 nm. These MOSFETs are believed to be the smallest double-gate transistors ever fabricated. Excellent short-channel performance is observed in devices with a wide range of gate lengths (10/spl sim/105 nm). The observed short-channel behavior outperforms any reported single-gate silicon MOSFETs. Due to the [110] channel crystal orientation, hole mobility in the fabricated p-channel FinFET exceeds greatly that in a traditional planar MOSFET. At 105 nm gate length, the p-channel FinFET shows a record-high transconductance of 633 /spl mu/S//spl mu/m at a V/sub dd/ of 1.2 V. Working CMOS FinFET inverters are also demonstrated.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesCharge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Sans objet · Signal consensuel: aucune
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: aucune
Score de désaccord entre enseignants0,850
Score d'incertitude au seuil0,998

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0030,001

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,015
Tête enseignante GPT0,222
Écart entre enseignants0,208 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle