Microstructural and optical properties of Ba0.5Sr0.5TiO3 thin film deposited by pulsed laser deposition for low loss waveguide applications
Notice bibliographique
Résumé
Barium strontium titanate (Ba0.5Sr0.5TiO3 or BST) films were grown on SiO2∕Si substrate by means of a reactive pulsed laser deposition technique. The microstructural and surface morphology of BST films were characterized by x-ray diffraction, scanning electron microscopy, and atomic force microscopy. Films deposited at 400°C were found to be amorphous and present wide cracks. The crystallization of the films was induced by annealing at 600°C. The BST films deposited at 550°C present a cubic perovskite structure with a dense and smooth surface. The optical constants (n and k as a function of wavelength) of the films were obtained using variable angle spectroscopic ellipsometry in the UV-vis-NIR regions. Microfabricated BST∕SiO2∕Si ridged waveguides were patterned using UV photolithography and high-density plasma etching. The propagation and loss characteristics at the telecommunication wavelength of 1.55μm were investigated using top-view scattering and Fabry-Pérot resonance methods. For specific ridge widths, we obtained single-mode propagation with relatively low losses (∼1dB∕cm), thereby demonstrating the strong potential of BST films for guided-wave components for advanced optical integrated systems.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».