Effect of argon ion energy on the performance of silicon nitride multilayer permeation barriers grown by hot-wire CVD on polymers
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Permeation barriers for organic electronic devices on polymer flexible substrates were realized by combining stacked silicon nitride (SiN x ) single layers (50 nm thick) deposited by hot-wire chemical vapor deposition process at low-temperature (~ 100°°C) with a specific argon plasma treatment between two successive layers. Several plasma parameters (RF power density, pressure, treatment duration) as well as the number of single layers have been explored in order to improve the quality of permeation barriers deposited on polyethylene terephthalate. In this work, maximum ion energy was highlighted as the crucial parameter making it possible to minimize water vapor transmission rate (WVTR), as determined by the electrical calcium test method, all the other parameters being kept fixed. Thus fixing the plasma treatment duration at 8 min for a stack of two SiN x single layers, a minimum WVTR of 5 × 10 − 4 g/(m 2 day), measured at room temperature, was found for a maximum ion energy of ~ 30 eV. This minimum WVTR value was reduced to 7 × 10 − 5 g/(m 2 day) for a stack of five SiN x single layers. The reduction in the permeability is interpreted as due to the rearrangement of atoms at the interfaces when average transferred ion energy to target atoms exceeds threshold displacement energy.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle