Study of laser plasmas in straight magnetic fields for thin film deposition
Notice bibliographique
Résumé
Summary form only given. Pulsed Laser Deposition is a versatile technique for depositing a variety of materials in thin films form. One complication with pulsed laser deposition is the inclusion of micron and submicron size debris particles from the source materials. These particles arise from the release of solid material and liquid droplets from the shock wave produced by the laser produced plasma. An additional issue arising in the deposition process is the rapid fall off in coating flux with distance from the plasma source point. Thus if high coating rates are desire, the substrate must be located close to the plasma source. In this paper the guiding of plasmas produced by nanosecond ultraviolet laser pulses using straight solenoidal magnetic fields has been studied as a mean of giving a low-debris, controlled deposition source for the production of thin films. Experimental study on the guiding efficiency of the coating flux at various magnetic field strength, using Langmuir probes and quartz crystal monitor has been carried out. The transport of the ionization portion of the laser plasma was measured by arrays of Langmuir probes and the total coating flux including neutrals was measured by a quartz crystal monitor. In addition to the magnetic field strengths, the orientation of the target and the repetition rate of the laser also affect the transport efficiency. These results were presented and compared to predictions of plasma guiding using numerical plasma simulation models.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».