Composition and strain contrast of Si1−xGex (x=0.20) and Si1−yCy (y≤0.015) epitaxial strained films on (100) Si in annular dark field images
Notice bibliographique
Résumé
The annular dark field (ADF) image contrast of Si1−xGex (x=0.20) and Si1−yCy (y≤0.015) strained epitaxial films on (100) Si is investigated in a 200 kV scanning transmission electron microscope (STEM) with ADF detector inner semiangles ranging from 26 to 92 mrad. For the Si1−xGex/Si system, the contrast increases with increasing ADF detector semiangle and decreases with increasing thickness to remain almost constant after the TEM sample thickness reaches 120 nm. The opposite trend is seen in the Si1−yCy/Si system, where the contrast increases with increasing sample thickness and decreases with increasing ADF detector semiangle, and remains almost constant after the sample thickness exceeds 200 nm. In the dilute Si1−yCy/Si system the lower average atomic number strained Si1−yCy layers are brighter than the higher average atomic number Si for an ADF detector semiangle of up to 92 mrad when the sample thickness is greater than 200 nm. This anomalous contrast dependence is also observed for an ADF detector semiangle of up to 50 mrad in thinner TEM samples. The observed ADF-STEM image contrast is explained in relation to the atomic scattering and multislice simulations. The normalized intensity line scan profiles of ADF-STEM images coincide with the composition profiles determined from analytical TEM techniques: energy dispersive x-ray spectroscopy and electron energy loss spectroscopy, as well as secondary ion mass spectrometry.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».