Tomographic measurement of buried interface roughness
Notice bibliographique
Résumé
The authors demonstrate that electron tomography allows accurate measurement of roughness of buried interfaces in multilayer samples. The method does not require the interface to be exposed at the surface of the sample, or does it require a laterally extended sample. Therefore, it enables quantitative site specific analysis of individual elements within semiconductor devices. The standard deviation of the interface distance from a plane fitted to an interface is used as a measure of the interface roughness. The roughness is evaluated in three dimensions, eliminating the uncertainties inherent to roughness measurements on cross-sectional images from a single projection. The apparent interface roughness depends on the signal-to-noise ratio (S/N) arising from electron counting statistics in the data. To eliminate the effect of the S/N, multiple images were collected at each tilt. The roughness was extrapolated to an asymptotic value with a high S/N. This value was taken as the true interface roughness. The method was validated on computer generated data by demonstrating a good agreement between known roughness values and asymptotic values obtained using the above method.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,008 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,002 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».