Fabrication and modeling of an SP3T RF MEMS switch
Notice bibliographique
Résumé
Most of the research effort on RF MEMS switches reported in the literature has been directed toward the development of single-pole-single-throw (SPST) switches. The SPST switch is a two-port device, which acts as a simple RF relay. In today's communication systems, switches are typically used in the form of switch matrices. The use of multiport switches as the basic building blocks can considerably simplify the integration problem of large switch matrices. In our knowledge, very limited work has been reported on integrated multiport MEMS switches. We present a novel integrated SP3T MEMS switch. RF simulation, along with circuit modeling, is used to design the switch. Three beams with narrow-width tips are integrated on top of a coplanar transmission line. The junction where the three beams interact is inherently a wide band junction, which makes it possible to design a wideband SP3T switch with 30 dB isolation up to 20 GHz. Theoretical and measured results demonstrate the validity of the proposed design. Even though the concept is demonstrated using flip-chip technology, the SP3T switch can potentially be realized by integrating the beams and the substrate on one chip.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».