Electric discharge enhancement of laser produced plasma for thin film deposition
Notice bibliographique
Résumé
Summary form only given. Plasma produced by focusing a KrF laser (248 nm, 15 ns) onto a solid target can be captured and guided by a curved solenoidal magnetic field to yield a debris free, controlled deposition source for the fabrication of thin films (Tsui, Redman, Rankin, Capjack, Vick and Fedosejevs, 1998, Tsui, Vick and Fedosejevs, 1997). In our magnetic field guiding process only the ionized component of the laser ablated material contributes to the deposition source. With the aim of increasing the coating rate, we have investigated the use of a fast-switched capacitor discharge through a plume of laser ablated material which increases significantly the plasma content. The angular distribution of the flux of the additional plasma generated by the electric discharge enhancement of laser produced plasma was observed to be more isotropic in comparison to that of the non-enhanced laser produced plasma. The angular distribution of the flux of electric discharge enhanced laser produced plasma has been measured in detail with an array of Faraday cups for both C and Al plasmas. During the experiment, laser intensities were ranged from 10/sup 9/ W/cm/sup 2/ to 10/sup 11/ W/cm/sup 2/, both a C and a W pair of discharge electrodes were used, and the time delay between the laser plasma formation and the triggering of the electric discharge was varied. Experimental results indicating an increase in the plasma component of the plume of the laser ablated material will be presented.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».