Excimer laser crystallization of a-SiC<sub><i>x</i></sub> on glass
Notice bibliographique
Résumé
Silicon carbide (SiC) is a promising material for the fabrication of optoelectronic devices. In the amorphous state physical-vapor-deposited SiC is already an essential part of the production of electron beam liquid phase crystallized silicon absorbers, because of its good wettability for the silicon melt. The resulting polycrystalline thin film absorbers exhibit excellent electrical properties (B. Eggleston et al. MRS Online Proc. Libr. 1426, 251 (2012)) and demonstrate the potential of this technology (J. Dore et al. IEEE J. Photovolt. 4, 33 (2014)). A drawback of amorphous SiC interlayers is their poor optical properties. In this work we investigate two different approaches. Firstly, we show how those properties can be improved by depositing SiC x O y layers to enhance the transmittance while maintaining the wettability. Secondly, the laser crystallization of amorphous silicon–carbon compounds is studied as a function of their composition and the applied laser fluence. Compared to the amorphous SiC layers a clear reduction of the absorption coefficient was achieved upon laser annealing without losing wettability. Raman backscattering measurements showed that laser annealing of reactively sputtered amorphous SiC leads to a material with a vibrational mode at 770 cm −1 that is indicative of 6H–SiC. Atomic force microscopy measurements of those crystalline layers also show an ordered triangular grain structure, which was not observed in the amorphous material. It is shown that segregation effects are strongly affected by the stoichiometry and the applied laser fluence.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».