Use of fluorescent probes to determine catalytic chain length in chemically amplified resists
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Acid-catalyzed deprotection of tert-butoxycarbonyl (t-Boc) pendant groups present in a polymer film is one of the most common chemical reactions in photolithography. We present here a novel method to determine the catalytic chain length of this reaction under different development conditions. We demonstrate this in model PMMA thin films containing triphenylsulphonium triflate as a photoacid generator, acid sensor coumarin 6, t-Boc protected coumarin 4, and base 2-piperidin-1-yl-ethanol (2-PE). Deprotection of the t-Boc group, catalyzed by the photogenerated acid, during the post-exposure bake leads to formation of coumarin 4, a strongly fluorescent molecule whose concentration is monitored using fluorescence. We take advantage of the change in the emission spectra of coumarin 6 upon protonation to monitor acid formation. To quantify the amount of acid, an acidbase titration is done in the polymer film using 2-PE. Knowing the amount of deprotected probe and the amount of acid, we are able to calculate the number of moles of deprotected C4-t-Boc per mol of acid, which is the actual catalytic chain length.Key words: photolithography, chemical amplification, catalytic chain length, fluorescent sensors, photoacid generator.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle