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Enregistrement W1963620488 · doi:10.17764/jiet.46.1.7450w638377v5872

Adsorption Behavior of Chemical Contaminants by Molecular Simulation

2003· article· en· W1963620488 sur OpenAlexaff
Masazumi Godo, Takeshi Takatsuka, Mutsuya Tomonari, Kunio Miura, Seiichi Takami, Momoji Kubo, Akira Miyamoto

Notice bibliographique

RevueJournal of the IEST · 2003
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueSurface Roughness and Optical Measurements
Établissements canadiensHatch (Canada)
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésAdsorptionWaferSiliconMolecular dynamicsMoleculeHydrogenSilicon oxideChemistryChemical engineeringOxideContaminationSurface energyBenzeneMaterials scienceInorganic chemistryPhysical chemistryOrganic chemistryNanotechnologyComputational chemistry

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

The adsorption process of chemical contaminants on silicon wafers was investigated by using molecular mechanics, molecular dynamics, Monte Carlo method, and computer graphics. The adsorption energy of organic gaseous contaminants, such as DBP, DOP, and D5, on the hydrogen terminated silicon surface and its oxide surface, were estimated and compared. The adsorption energy of chemical contaminants was larger than that of low molecular weight species, such as benzene, H2O and NH3. The adsorption energy on the hydrogen terminated silicon surface was smaller than that on its oxide surface. The equilibrium adsorption amount on the silicon wafer was also calculated. It was indicated that the configuration of the adsorbed DBP molecules over its gas concentration of 1.9x103 ng/m3 showed multi-layer adsorption. It was indicated that adsorption energy and the equilibrium adsorption amount is a good index to estimate the adsorption properties of organic molecules.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Simulation ou modélisation · Signal consensuel: Simulation ou modélisation
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,017
Score d'incertitude au seuil0,034

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0010,001
Méta-épidémiologie (sens large)0,0010,001
Bibliométrie0,0010,001
Études des sciences et des technologies0,0010,000
Communication savante0,0010,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0010,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0030,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,013
Tête enseignante GPT0,232
Écart entre enseignants0,219 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeSimulation ou modélisation
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations3
Publié2003
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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