<title>Laser polishing of GaN</title>
Notice bibliographique
Résumé
The ablative decomposition of GaN films induced with a XeCl excimer laser ((lambda) equals 308 nm) was investigated for a potentially low-damage surface planarization process. Samples, 2-micrometers -thick, were grown on (0001) sapphire by ammonia molecular beam epitaxy. They had a characteristic micro-hillock type surface morphology with a roughness, averaged over 5 x 5 micrometers <SUP>2</SUP> area, typically, of 13 nm. Following the laser irradiation, this roughness could be reduced to 3.6 nm. The results indicate that the ablation process follows the Lambert-Beer's law, with an absorption coefficient of 3 x 10<SUP>5</SUP> cm<SUP>-1</SUP>. The experiment was carried out with relatively short pulses ((tau) equals 10 ns), which appear to be responsible for the observed onset of the laser-induced decomposition of GaN and surface planarization at significantly smaller laser fluences than reported in the literature. The ability to carry out decomposition of GaN with low laser fluences is of practical importance for achieving a low-damage GaN planarization process and/or intentional delaminating of this material from the sapphire substrate by the back side irradiation technique.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».