Electrothermomechanical modeling of out-of-plane deformation in single-stepped beams actuated by resistive heating
Notice bibliographique
Résumé
An analytical model for the electrothermomechanical analysis of out-of-plane deformation in resistively heated single-stepped beams is presented. The model takes into account the conductive heat transfer from the beam to the substrate in which it is anchored. It also considers the temperature dependence of the beam material properties and accounts for the locally enhanced resistive heating effect around the release holes in the beam to predict temperature distribution along the beam. Energy method and Euler–Bernoulli beam theory are used for the prediction of out-of-plane deformation and stress distribution of the beam, as well as the out-of-plane rotation at the middle of the beam. The model considers the nonuniformity of the air gap between the beam and the substrate and captures the resultant asymmetric temperature distribution along the beam. The out-of-plane rotations in the middle of the single-stepped beam predicted by the analytical model and measured experimentally agree within 10%. The analytical model is then used to predict the maximum actuation current, which results in high temperature plastic deformation and agrees with the experiments within 5%. The proposed analytical model provides a good approach for systematic design and analysis of out-of-plane electrothermal microactuators based on single-stepped beam design.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».