Application of laser induced electron impact ionization to the deposition chemistry in the hot-wire chemical vapor deposition process with SiH<sub>4</sub>-NH<sub>3</sub> gas mixtures
Notice bibliographique
Résumé
The application of a laser-induced electron impact (LIEI) ionization source in studying the gas-phase chemistry of the SiH(4)/NH(3) hot-wire chemical vapor deposition (HWCVD) system has been investigated. The LIEI source is achieved by directing an unfocused laser beam containing both 118 nm (10.5 eV) vacuum ultraviolet (VUV) and 355 nm UV radiations to the repeller plate in a time-of-flight mass spectrometer. Comparison of the LIEI source with the conventional 118 nm VUV single-photon ionization (SPI) method has demonstrated that the intensities of the chemical species with ionization potentials (IP) above 10.5 eV, e.g., H(2), N(2) and He, have been significantly enhanced with the incorporation of the LIEI source. It is found that the SPI source due to the 118 nm VUV light coexists in the LIEI source. This allows simultaneous observations of parent ions with enhanced intensity from VUV SPI and their "fingerprint" fragmentation ions from LIEI. It is, therefore, an effective tool to diagnose the gas-phase chemical species involved with both NH(3) and SiH(4) in the HWCVD reactor. In using the LIEI source to SiH(4), NH(3) and their mixtures, it has been shown that the NH(3) decomposition is suppressed with the addition of SiH(4) molecules. Examination of the NH(3) decomposition percentage and the time to reach the N(2) and H(2) steady-state intensities for various NH(3)/SiH(4) mixtures suggests that the extent of the suppression is enhanced with more SiH(4) content in the mixture. With increasing filament temperatures, the negative effect of SiH(4) becomes less important.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».