MétaCan
Menu
Retour à la cohorte
Enregistrement W1965834868 · doi:10.1088/0022-3727/45/10/105102

A new approach for improving the silicon texturing process using gas-lift effect

2012· article· en· W1965834868 sur OpenAlexaff
M. Amouzgar, Mojtaba Kahrizi

Notice bibliographique

RevueJournal of Physics D Applied Physics · 2012
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueAdvanced Surface Polishing Techniques
Établissements canadiensConcordia University
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésWaferSiliconEtching (microfabrication)Materials scienceSpecular reflectionBlack siliconLift (data mining)OptoelectronicsReflectivityCrystalline siliconOpticsNanotechnologyComputer science

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

Abstract A new cost-effective and efficient approach is proposed for texturing the crystalline silicon using the gas-lift effect (GLE). The advantages of this approach over the conventional ones are that significantly lower amounts of IPA is used and much shorter etching time is required to achieve the same reflectivity. GLE is generated by taking advantage of the hydrogen bubbles evolved between the silicon wafer being etched and a glass plate, placed in parallel, creating a gap of 1–2 mm. This effect then acts as a pumping mechanism detaching more bubbles from the silicon surface, accelerating them to the top and out of the system, as quickly as they are generated. Experiments were carried out with various combinations of TMAH/IPA concentrations for two different GLE conditions to analyse and determine their influence on etching time, etching rate, surface morphology and reflectivity of the textured silicon surface. The use of this new approach in surface texturing, allowed the reduction of the required IPA by 50% and etching time by more than 60% to achieve the same reflectivity. This can ultimately lead to a significant reduction in cost by increasing the efficiency of the texturing process. A combination of 3.5% IPA and 2 mm GLE resulted in a textured silicon surface having a low specular solar-weighted reflectivity of 0.15%.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,001
Score d'incertitude au seuil0,003

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0010,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,001
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,001
Science ouverte0,0010,000
Intégrité de la recherche0,0000,001
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0010,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,019
Tête enseignante GPT0,270
Écart entre enseignants0,250 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations11
Publié2012
Routes d'admission1
Résumé présentoui

Explorer davantage

Même revueJournal of Physics D Applied PhysicsMême sujetAdvanced Surface Polishing TechniquesTravaux en français237 207