Evaluation of Silicide Morphology by Near-Infrared-Laser Optical-Beam-Induced-Current Technique
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
We found that the near-infrared-laser optical-beam-induced-current (IR-OBIC) technique was very useful for the evaluation of silicide morphology in ultralarge-scale integrated (ULSI) devices. By this technique, it is possible to detect the cohesion points of silicide as two-dimensional images by scanning a near-infrared laser from the back of the chip. The cohesion points appear as bright spots. We confirmed that the number and intensity of bright spots changed according to the extent of cohesion for some different samples upon varying the silicide layer thickness or thermal treatment time after silicide formation. Furthermore, other experiments were performed to clarify the image formation mechanism at cohesion points. It was demonstrated that the electromotive current was generated upon irradiation by the near-infrared-laser, and Schottky junctions were formed at cohesion points. Thus, it was clarified that the images obtained at cohesion points by this technique are a result of the electromotive current generated due to the carriers (electrons or holes) that are excited over the Schottky barrier formed at cohesion points. The IR-OBIC technique can be used to detect the silicide morphology nondestructively without the need to remove the upper layers of the silicide layer. This study reveals a novel application of the IR-OBIC method which is a very useful technique for the evolution of the self-aligned silicide (SALICIDE) process or structure in future ULSIs.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle