Ammonia molecular beam epitaxy growth of p-type GaN and application to bipolar junction transistors
Notice bibliographique
Résumé
We have investigated the effect of the growth temperature and magnesium flux on Mg incorporation in ammonia-MBE grown GaN epilayers. Secondary ion mass spectroscopy revealed that the incorporation of Mg is more sensitive to the growth temperature than to Mg flux. Simultaneously, the available amount of Mg at the substrate surface has to be accurately balanced in order to achieve the optimum electrical (p∼3×1017cm−3, μ∼12cm2∕Vs, ρ∼2ohmcm) and structural properties [ω-scan FWHM(0002)∼550arcsec]. The surface morphology of the Mg-doped GaN epilayers, using various growth temperatures and Mg fluxes, has been studied by atomic force microscopy showing a considerable change in the GaN average grain size. The optimum growth window for achieving high quality, p-type conductivity in GaN using ammonia-MBE will be discussed. As an application, n–p–n bipolar junction transistors were grown and fabricated. A current gain of 10 with VBC=0V was achieved using these devices.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».