Mesoporous Germanium Formation by Electrochemical Etching
Notice bibliographique
Résumé
Uniform thick mesoporous germanium layers are reproducibly formed on 4 in.p-type Ge wafers by electrochemical etching in highly concentrated HF electrolytes.Pore formation by anodic etching in germanium leads to a constant dissolution of the porous layer.The growth rate of the porous Ge layer is therefore given by the difference between the etch rate at the porous layer/substrate wafer interface and the dissolution rate at the electrolyte/porous layer interface.The growth rate lies in the range of 0.071-2.7 nm/min for etching current densities of 0.1-80 mA/cm 2 , while both the etch rate and the dissolution rate lie in the range of several micrometers per minute.We define the substrate usage as the ratio of the growth rate and the etch rate.This substrate usage determines the growth efficiency of the porous layer and lies in the range of 0.2-2%.Thus, the substrate wafer is thinned substantially during anodic porous layer formation.Constantly alternating from an anodic to a cathodic bias prevents the thinning of the substrate.The dissolution rate decreases, and the usage increases up to 98%.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».