Reflection mode two-dimensional photonic-crystal-slab-waveguide-based micropressure sensor
Notice bibliographique
Résumé
Photonic crystals (PhCs) have recently been the focus for the developing micro- and nano-optical sensors, due to its capability to control and manipulate light on planar devices. This paper presents a novel design of micro-optical pressure sensor based on 2-dimensional PhC slab suspended on Si substrate. A line defect was introduced to the PhC slab to guide and reflect light with frequency in the photonic bandgap in the plane of the slab. The structure, with certain surface treatment, can be used in miro-scale pressure catheters in heart ablation surgeries and other biomedical applications. The working principle of the device is to modify light reflection in the PhC line defect waveguide by moving a substrate vertically in the evanescent field of the PhC waveguide. Evanescent field coupling is the critical step that affects light transmission and reflection. High resolution electron-beam lithography and isotropic wet etching have been used to realize the device on the top layer of a Si-On-Insulator (SOI) wafer. The PhC slab is released by isotropic wet etch of the berried oxide layer. The output reflection spectrum of the device under different pressure conditions is simulated using 3-dimensional finite difference time domain (FDTD) method. The result showed that when the PhC slab is close enough to the substrate (less than 400 nm), the reflected light intensity decreases sharply when the substrate moves towards the PhC slab. Mechanical response of the sensor is also studied.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».