Ultrathin oxynitride formation by low energy ion implantation
Notice bibliographique
Résumé
Oxynitride films have been formed by rapid thermal processing of N-implanted wafers. The formation mechanism, the chemical composition, and the physical thickness of the oxynitride films were studied by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Segregation of nitrogen to the surface was performed on nitrogen ion-implant wafers under nitrogen gas. The outcome of the segregation is the formation of an ultrathin oxynitride layer ranging in thickness from 4 to 8.5 Å . Oxidation of nitrogen ion-implanted wafers, where the nitrogen is segregated beforehand and nitrogen ion-implanted wafers with no segregation prior to oxidation, is the focus of this study. XPS results showed that simultaneous segregation and oxidation forms an oxynitride film consisting of two layers where the interface is rich in nitrogen and the surface in oxygen. In the case of nitrogen segregation prior to oxidation, the nitrogen atoms in the oxynitride film, formed at oxidation temperatures less than 1000 °C, are uniformly distributed throughout the film in the form of SiOxNy. At high temperatures (∼1100 °C), the composition of the oxynitride formed by simultaneous segregation and oxidation becomes similar to that where N-segregation is performed prior to oxidation. The presence of nitrogen atoms retards significantly the diffusion of oxygen to the substrate surface thus producing uniform ultrathin films ranging in thickness from 13 to 40 Å.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».