Fluorinated Aminoalkoxide and Ketoiminate Indium Complexes as MOCVD Precursors for In<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Film Deposition
Notice bibliographique
Résumé
The syntheses of two distinctive types of indium complex derived from trimethylindium (InMe(3)) are reported. The first kind has a generalized structural formula [InMe(2)(amak)](2), where (amak)H is an abbreviation for a series of chelating amino alcohol ligands HOC(CF(3))(2)CH(2)NHR, R = (CH(2))(2)OMe (1), Me (2), and Bu(t) (3), as well as HOC(CF(3))(2)CH(2)NMe(2) (4); while the second type of complex is illustrated by [InMe(2)(keim)] (5), for which (keim)H is a tridentate ketoimine ligand of structural formula O=C(CF(3))CH(2)C(CF(3))=NCH(2)CH(2)NMe(2). The solid-state structures of 2 and 5 were determined using single crystal X-ray diffraction studies. For the aminoalkoxide complexes 2-4, the existence of dimeric In(2)O(2) core structures in the solid state has been established with the amino fragment located trans to the alkoxide ligands, in a molecular arrangement which is in contrast to the distorted, trigonal bipyramidal geometry observed for the ketoiminate complex 5. Moreover, VT NMR studies of 2 revealed a rapid dimer-to-monomer equilibration and simultaneous rupture of the N-->In dative interaction, affording two interconvertible isomers related by having the N-Me substituents in either trans or cis dispositions. For complexes 2 and 5, deposition of In(2)O(3) thin films was successfully conducted at temperatures 400-500 degrees C, using O(2) as the carrier gas to induce indium oxide deposition and to suppress carbon impurity present in the thin film. Scanning electron micrographs (SEMs) revealed the surface morphologies. The atomic composition of these films was examined by both X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Rutherford backscattering (RBS) methods, while X-ray diffraction studies (XRD) confirmed the formation of a preferred orientation along the (222) planes.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».