Reactive deposition of compounds by a cavity-hollow cathode direct current sputtering system
Notice bibliographique
Résumé
A new hollow cathode has been designed and applied in a reactive direct current (dc) sputtering system. This hollow cathode with an extra cavity (1.4 cm3) separates the reaction at the substrate from the reaction at the target surface and therefore prevents the target surface (cavity walls) to transit from the metallic sputter mode to the reactive sputter mode. This transition normally happens in reactive dc sputtering systems and it is the cause of a drastic drop in the deposition rate. The physical geometry of this cavity provides larger cathode walls and more efficient use of fast electrons and ions to produce large densities of sputtered and evaporated particles of the target metal. The development of this cavity-hollow cathode was facilitated by comprehensive structural and compositional analysis of some deposited films. By using pure titanium for the target and a mixture of 90%Ar/8%N2/2%O2 for the operating gas, some samples of titanium oxinitride films a few microns thick have been produced. At operating pressure of 0.05 Torr, the measured value for the cathode fall distance inside the cavity is 1.6 mm, showing that the pressure inside the cavity is much higher than the operating pressure in the reactor chamber. The current–voltage characteristics of this system exhibit a switching behavior from a nondischarge mode to a discharge mode with a negative resistance.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».