Growth of high mobility GaN and AlGaN/GaN high electron mobility transistor structures on 4H-SiC by ammonia molecular-beam epitaxy
Notice bibliographique
Résumé
Ammonia molecular-beam epitaxy has been used to grow high-quality epilayers of GaN and AlGaN/GaN heterostructure field-effect transistor (HFET) structures on insulating 4H-SiC. The growth process, which used a magnetron sputter epitaxy deposited buffer layer of AlN, has been described previously. Ex situ pretreatment of the SiC substrate was found to be unnecessary. For a single 2.0 μm thick silicon doped epilayer, a room temperature (RT) electron mobility of 500 cm2/Vs was measured at a carrier density of 6.6×1016 cm−3. For the HFET structure, a room temperature mobility of 1300 cm2/Vs at a sheet carrier density of 3.3×1012 cm−2 was observed, increasing to 11 000 cm2/Vs at 77 K. The surface morphology of the layers indicated a coalesced mesa structure similar to what we observed for growth on sapphire, but with a lower overall defect density and correspondingly larger grain size. The observation of well-resolved Shubnikov de Haas oscillations at fields as low as 3 T indicated a relatively smooth interface.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».