Electrical characterization of metal–oxide–semiconductor capacitors with anodic and plasma-nitrided oxides
Notice bibliographique
Résumé
We have studied two novel techniques that should inherently be more uniform than current mainstream processes used to produce silicon dioxide or nitrided-oxide gate insulators. Anodic films were fabricated by anodizing Si wafers in HCl solutions, and thermal oxide films were nitrided in N2O plasmas produced with an electron-cyclotron resonance source. Using typical polysilicon-gate test structures, the electrical characteristics are obtained and compared to thermal oxides. Both techniques can produce thin films (<15 nm thick) with interface state densities and leakage currents initially comparable to their thermal oxide counterparts, if the films are subjected to rapid thermal annealing at temperatures of 950 °C. The annealed films are subjected to high-field (⩾8 MV/cm) Fowler–Nordheim stress and the buildup of trapped charge is monitored as a function of time. Anodic films are found to have moderately higher bulk and interface trap generation rates than the thermal control. Thinner anodic oxides, which were grown at slower rates, had better properties than thicker anodic oxides, suggesting that even slower growth rates could yield anodic oxides with improved electrical properties.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,001 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».