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Enregistrement W1993922295 · doi:10.1063/1.2359224

Spectral separation of the efficiencies of the inside and outside orders of soft-x-ray-extreme-ultraviolet gratings at near normal incidence

2006· article· en· W1993922295 sur OpenAlexaff
Leonid I. Goray, J. F. Seely, Sergey Sadov

Notice bibliographique

RevueJournal of Applied Physics · 2006
Typearticle
Langueen
DomaineMaterials Science
ThématiqueOptical Coatings and Gratings
Établissements canadiensMemorial University of Newfoundland
Organismes subventionnairesnon disponible
Mots-clésOpticsExtreme ultravioletExtreme ultraviolet lithographyGratingWavelengthDiffractionMaterials scienceDiffraction efficiencyRigorous coupled-wave analysisPhysicsDiffraction gratingLaser

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

It is shown from both a phenomenological study and exact modeling that the reason for the experimentally observed substantial (a few angstroms or nanometers) separation in wavelength between the maxima of the inside (negative numbered) and outside (positive numbered) diffraction orders of a multilayer-coated grating, operating at near normal incidence and close to the Bragg condition in the soft-x-ray and extreme-ultraviolet (EUV) regions, is related to the different angles of deviation of the orders. This wavelength separation is also a feature of uncoated diffraction gratings, although not clearly noticeable. The widely used approximate approach for calculating the absolute efficiency, the product of the relative grating efficiency and the reflectance of its multilayer coating, has until recently been considered accurate enough for the analysis of soft-x-ray and EUV near-normal-incidence multilayer-coated gratings. The inapplicability of this approximation for the analysis of the precise positions and shapes of the efficiency curves for the inside and outside orders, despite the small ratios of wavelength and groove depth to period and the small angles of incidence, is demonstrated using gratings with realistic groove profiles and operating in the EUV region. The rigorous modified integral method (MIM), which is a variant of boundary integral equation methods and is designed for the calculation of the efficiency of multilayer gratings with arbitrary layer thicknesses and boundary shapes (including microroughness) and over a wide wavelength range, is proposed in a general operator formalism. An analysis of a derived simple phenomenological expression and the exact numerical study indicates that the spectral separation between the inside and the outside orders grows with increasing either wavelength, angle of incidence, groove frequency, or diffraction order number ∣m∣. The efficiency modeling carried out with the commercial program PCGRATE-SX, based on the MIM, gave not only the exact values of the spectral separation between the inside and outside orders of Mo4Ru6∕Be, Mo∕Si, and Mo∕Y multilayer-coated gratings with various real groove profiles measured using atomic force microscopy (AFM) but also good agreement with synchrotron radiation measurements, including high orders as well. To determine the shapes and positions of efficiency curves in the soft-x-ray-EUV range of close to normal-incidence bulk and multilayer-coated gratings with real groove profiles (measured by AFM), one should use codes based on rigorous electromagnetic theory such as the MIM. The modeling is important for developing high efficiency and dispersion gratings for high-resolution spectroscopic studies of laboratory, solar, and astrophysical radiation sources.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction distillée sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,000
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,000
Version: codex-gemma-dda1882f352aStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,032
Score d'incertitude au seuil0,283

Scores Codex et Gemma par catégorie

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,001
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0000,000
Intégrité de la recherche0,0000,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0000,000

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,009
Tête enseignante GPT0,220
Écart entre enseignants0,211 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations26
Publié2006
Routes d'admission1
Résumé présentoui

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