In Situ Deposition Monitoring by a Tilted Fiber Bragg Grating Optical Probe: Probing Nucleation in Chemical Vapour Deposition of Gold
Notice bibliographique
Résumé
The gold(I) compound [Au(NiPr)2CNMe2]2 was used as a chemical vapour deposition precursor to deposit gold metal films between 200 – 225 °C on both flat silicon substrates as well as on silica optical fibers. The deposited gold film was nanocrystalline with a preferred (111) orientation and had marginal conductivity. The film shows good purity and has a very high growth rate of 222 nm/min (37 Å/s) when measured on the optical fiber. The growth of the gold film on the optical fiber was monitored by the attenuation of a guided light mode diffracted into the fiber's cladding by a tilted Bragg grating (TFBG) inscribed in the fiber core. The initiation of the gold film growth was found to coincide with an increase in the attenuation of polarized light propagating in the fiber and monitored at wavelengths near 1559 nm. This attenuation peaked when the film granularity maximized losses to the cladding mode and then disappeared when the film became thicker and continuous. Further evidence of a continuous film was indicated by a wavelength shift of 0.2 nm of the cladding mode resonance wavelengths. A growth rate of 222 nm/min (37 Å/s) was found during the first 50 seconds of deposition, tapering off to an overall growth rate of 39 nm/min (6.5 Å/s). The use of a TFBG as a sensor was shown to be a valuable method to monitor film nucleation, growth and uniformity.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».