A polyimide based resistive humidity sensor
Notice bibliographique
Résumé
Purpose To establish an accurate and sensitive method to characterize the moisture content of a particular environment. Design/methodology/approach This paper proposes a relatively simple humidity sensor design consisting of electrodes on a suitable substrate coated with a polyimide material. The changes in relative humidity are denoted by a corresponding change in the polyimide material's electrical resistance profile. The design proposed in this work can be microfabricated and integrated with electronic circuitry. This sensor can be fabricated on alumina or silicon substrates. The electrode material can be made up of nickel, gold or aluminum and the thickness of the electrodes ranges typically between 0.2 and 0.3 μ m. The sensor consists of an active sensing layer on top of a set of electrodes. The design of the electrodes can be configured for both resistive and capacitive sensing. Findings The polyimide material's ohmic resistance changes significantly with humidity variations. Changes in resistance as large as 4‐6 orders of magnitude are attainable over the entire operational humidity range. Research limitations/implications As the sensitivity varies non‐linearly with the humidity, the measurement has to be carried out over a very wide range in order to calibrate the sensor. The sensitivity and output range of the sensor can be easily controlled by changing the electrode spacing or geometry. Practical implications The control of humidity is important in many applications ranging from bio‐medical to space exploration. Originality/value A simple, easy to fabricate and measure, and low cost resistive‐type humidity sensor was developed. The realized sensor is suitable for integrating with microfabrication. Hence, multiple sensors of varying sensitivities and output ranges could be integrated on the same chip. Over the last few years, newly emerging micro‐electro‐mechanical‐systems technology and micro‐fabrication techniques have gained popularity and importance in the miniaturization of a variety of sensors and actuators.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».