Dépôt chimique en phase vapeur et à basse pression de couches minces à base de silicium dans un réacteur à lampes halogène
Notice bibliographique
Résumé
Low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) in halogen lamp-heated reactor (RTLPCVD: rapid thermal LPCVD) is a promising technique for silicon-based thin films deposition. Indeed, overall process time and gas consumption reduction in RTP reactors allows to project new device fabrication technologies (microsensors, solar cells) in order to reach a higher environmental safety with respect to classical technologies.Various gases available on our RTP installation (SiH 4 , NH 3 , N 2 O, O 2 , PH 3 , B 2 H 6 ) enable several silicon-based thin films RTLPCVD deposition: intrinsic polycrystalline silicon (poly-Si) films or in situ doped poly-Si, silicon nitride (Si-N) and oxynitride (Si-O-N). In this paper, we discuss our results on deposition kinetics and physical properties of these thin films. It appeared that RTLPCVD silicon-based thin films with interesting structural, electrical, and optical properties can be synthesized in our lamp-heated reactor with a tight control of process parameters such as temperature, pressure, and gas flow ratios.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».