Optical characteristics and color of TiN/SiN1.3 nanocomposite coatings
Notice bibliographique
Résumé
Decorative and protective coatings deposited by dry methods are very attractive due to the environmental restrictions on traditional wet chemical techniques. In this context, nanocomposite hard coatings were fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition from TiCl4/SiH4/N2/H2/Ar gas mixtures at substrate temperatures of 300 and 500 °C. Their optical characteristics such as refractive index, extinction coefficient, luminosity, and colors were quantitatively determined by spectroscopic ellipsometry and spectrophotometry. Pure TiN exhibited a metal-like behavior, and its optical properties were modeled by the Drude (free carrier) approach. Nanocomposite films consisting of about 5–10 nm size TiN grains incorporated in an amorphous SiN1.3 matrix were modeled by a sum of Drude and Lorentz (interband) transitions. Optical properties of the films were explained by their morphology and chemical structure, investigated by a multitechnique approach using scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, elastic recoil detection in the time-of-flight regime, Auger electron spectroscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, and Raman spectroscopy. Subsequent addition of Si to TiN caused a complex transformation from a polycrystalline to nanocomposite microstructure, which adopted a predominantly amorphous character. This was accompanied by a transition from a metallic to a dielectric behavior in terms of the optical response and electronic properties.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».