Composition and growth of anodic and thermal oxides on InP and GaAs
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Research using surface analytical techniques (Auger, XPS and 16 O/ 18 O SIMS) to characterize anodic films (formed in aqueous electrolytes at ambient temperature) and thermal oxides (formed at ∼500°C) on both InP and GaAs is summarized. Anodic and thermal oxides on InP comprise an outer indium‐rich layer and an inner layer containing In 2 O 3 , phosphorus oxide and P–O compounds with indium. For anodic films, sequential 16 O/ 18 O SIMS experiments indicate oxygen ion ingress with inner layer growth at the film/substrate interface and outer layer growth of In 2 O 3 at the film/electrolyte interface. Electrical measurements performed on metal–insulator–semiconductor (MIS) structures indicate the oxides on InP to be ‘leaky’. Thermal oxides formed on GaAs in oxygen consist primarily of Ga 2 O 3 with a small amount of arsenic (a few per cent) at the outer oxide surface as both As 2 O 3 and As 2 O 5 and a significant accumulation of elemental arsenic at the oxide/substrate interface. This probably leads to a high density of electronic traps and poor electrical properties. Anodic oxides (∼40 nm thick) formed in phosphate solution, however, have better electrical properties exhibiting low current densities (up to 6 V), making these films potentially useful for device applications. Copyright © 2002 Crown in the right of Canada. Published by John Wiley & Sons, Ltd.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle