Structure and mechanical properties of Ti–Si–N films deposited by combined DC/RF reactive unbalanced magnetron sputtering
Notice bibliographique
Résumé
Ti–Si–N nanocomposite films with Si content between 0 and 13.5at.% were deposited by combined DC/RF reactive unbalanced magnetron sputtering. The composition, structure, and mechanical properties of the as-deposited Ti–Si–N films were measured by energy dispersive analysis of x rays, x-ray diffraction (XRD), and nanoindentation experiments, respectively. All of the Ti–Si–N films exhibited a higher hardness than pure TiN films deposited under similar conditions. The highest hardness (∼41GPa) was obtained in the film with Si content of about 8at.%. Ti–Si–N films also exhibited a higher resistance to plastic deformation (i.e., higher ratio H3∕E*2) than pure TiN. XRD patterns revealed that the as-deposited films were composed of cubic TiN crystallites with a preferential orientation of (111). With increase of RF power applied to the Si targets, the TiN (111) peak intensity or TiN crystallite size increased in the lower RF power range but decreased in the higher RF power range, showing a maximum at an RF power of 500W (power density ∼1.14W∕cm2), corresponding to a Si content of about 5at.% in the film.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».