Spin‐Coated Periodic Mesoporous Organosilica Thin Films—Towards a New Generation of Low‐Dielectric‐Constant Materials
Notice bibliographique
Résumé
Abstract Periodic mesoporous organosilica (PMO) thin films have been produced using an evaporation‐induced self‐assembly (EISA) spin‐coating procedure and a cationic surfactant template. The precursors are silsesquioxanes of the type (C 2 H 5 O) 3 Si–R–Si(OC 2 H 5 ) 3 or R′–[Si(OC 2 H 5 ) 3 ] 3 with R = methene (–CH 2 –), ethylene (–C 2 H 2 –), ethene (–C 2 H 4 –), 1,4‐phenylene (C 6 H 4 ), and R′ = 1,3,5‐phenylene (C 6 H 3 ). The surfactant is successfully removed by solvent extraction or calcination without any significant Si–C bond cleavage of the organic bridging groups R and R′ within the channel walls. The materials have been characterized by scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM), powder X‐ray diffraction (PXRD), and 29 Si and 13 C magic‐angle spinning (MAS) NMR spectroscopy. The d ‐spacing of the PMOs is found to be a function of R. Nanoindentation measurements reveal increased mechanical strength and stiffness for the PMOs with R = CH 2 and C 2 H 4 compared to silica. Films with different organic‐group content have been prepared using mixtures of silsesquioxane and tetramethylorthosilicate (TMOS) precursors. The dielectric constant ( k ) is found to decrease with organic content, and values as low as 1.8 have been measured for films thermally treated to cause a “self‐hydrophobizing” bridging‐to‐terminal transformation of the methene to methyl groups with concomitant loss of silanols. Increasing the organic content and thermal treatment also increases the resistance to moisture adsorption in 60 and 80 %‐relative‐humidity (RH) environments. Methene PMO films treated at 500 °C are found to be practically unchanged after five days exposure to 80 % RH. These low dielectric constants, plus the good thermal and mechanical stability and the hydrophobicity suggest the potential utility of these films as low‐ k layers in microelectronics.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».