Effect of molecular weight distribution on e-beam exposure properties of polystyrene
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Notice bibliographique
Résumé
Polystyrene is a negative electron beam resist whose exposure properties can be tuned simply by using different molecular weights (Mw). Most previous studies have used monodisperse polystyrene with a polydispersity index (PDI) of less than 1.1 in order to avoid any uncertainties. Here we show that despite the fact that polystyrene's sensitivity is inversely proportional to its Mw, no noticeable effect of very broad molecular weight distribution on sensitivity, contrast and achievable resolution is observed. It is thus unnecessary to use the costly monodisperse polystyrene for electron beam lithography. Since the polydispersity is unknown for general purpose polystyrene, we simulated a high PDI polystyrene by mixing in a 1:1 weight ratio two polystyrene samples with Mw of 170 and 900 kg mol(-1) for the high Mw range, and 2.5 and 13 kg mol(-1) for the low Mw range. The exposure property of the mixture resembles that of a monodisperse polystyrene with similar number averaged molecular weight Mn, which indicates that it is Mn rather than Mw (weight averaged molecular weight) that dominates the exposure properties of polystyrene resist. This also implies that polystyrene of a certain molecular weight can be simulated by a mixture of two polystyrenes having different molecular weights.
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Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle