Demonstration of highly scaled FinFET SRAM cells with high-κ/metal gate and investigation of characteristic variability for the 32 nm node and beyond
Notice bibliographique
Résumé
Highly scaled FinFET SRAM cells, of area down to 0.128 m2, were fabricated using high-kappa dielectric and a single metal gate to demonstrate cell size scalability and to investigate Vtvariability for the 32 nm node and beyond. A single-sided ion implantation (I/I) scheme was proposed to reduce Vtvariation of Fin-FETs in a SRAM cell, where resist shadowing is a great issue. In the 0.187 m2cell, at Vd= 0.6 V, a static noise margin (SNM) of 95 mV was obtained and stable read/write operations were verified from N-curve measurements. sigmaVtof transistors in 0.187 m2cells was measured with and without channel doping and the result was summarized in the Pelgrom plot. With the 22 nm node design rule, FinFET SRAM cell layouts were compared against planar-FET SRAM cell layouts. An un-doped FinFET SRAM cell was simulated to have significant advantage in read/write margin over a planar-FET SRAM cell, which would have higher sigmaVtmainly caused by heavy doping into the channel region.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».