Production and structural characterization of BN/TiN multilayers
Notice bibliographique
Résumé
A pulsed excimer laser was used to evaporate targets of boron nitride and titanium nitride in an attempt to produce hard thin films on crystalline silicon substrates. The films were either pure TiN or BN layers, as well as alternating multilayers and mixed layers. Deposition could be assisted by ion bombardment. The films were characterized by Auger electron spectroscopy, Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR), and x-ray diffraction. A selection of films was also studied by profilometry in order to determine deposition rate and the type of stress present. The level of stress in TiN films was also a function of the deposition temperature and could be varied with the use of ion bombardment. Amorphous, cubic, and hexagonal BN films were produced and the effect of the stress of the substrate on these layers was investigated. Multilayers were stressed, having alternating layers of nanocrystalline TiN and amorphous BN. Mixtures consisted of nanometer-sized regions of crystalline TiN and sp2 coordinated boron nitride. FTIR spectra and high-resolution transmission electron microscope pictures suggested that in the mixtures, boron nitride planes tended to parallel the surface of the TiN grains. No sign of stress-driven formation of cubic BN was observed in the multilayers nor in the nanosized mixtures, regardless of the stress level present in them; neither was there any sign of titanium borides or other structures that might increase the hardness of the films.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».