Lowest surface recombination velocity on n-type crystalline silicon using PECVD a-Si:H/SiN x bi-layer passivation
Notice bibliographique
Résumé
Energy conversion efficiency of crystalline silicon (c-Si) solar cells manufactured on thin substrates is strongly influenced by the recombination losses of photo-generated charge carriers at the surface and in its proximity. Intrinsic hydrogenated amorphous silicon (i-a-Si:H) deposited using DC saddle-field plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) at a low temperature of ~200°C reduces recombination losses of photo-generated carriers through passivation of defects at the surface. This study reports on high quality surface passivation achieved using a dual layer approach wherein a 70nm amorphous silicon nitride (SiN<sub>x</sub>) capping layer is deposited on a less than 10nm thin i-a-Si:H layer. While the a-Si:H layer is effective in passivating the interface recombination sites, SiN<sub>x</sub> is deemed to incorporate field-effect passivation, thus providing a minority carrier mirror. Additionally, SiN<sub>x</sub> layer acts as an anti-reflection coating with a low absorption coefficient in the optical frequency range of interest. The SiN<sub>x</sub> deposition conditions, known to strongly influence the passivating quality of the dual layer structure, were systematically investigated using the response surface methodology (RSM). The optimal deposition parameters obtained from the RSM study were experimentally verified to yield the lowest surface recombination velocity of 3.5 cm/s on 1-2 Ω-cm n-type FZ c-Si using a PECVD a-Si:H/SiN<sub>x</sub> bi-layer passivation stack.
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Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».