Intrinsic thin film stresses in multilayered imaging pixels
Notice bibliographique
Résumé
When thin film devices are integrated in display or imaging arrays, the intrinsic mechanical stresses in the films can be severe enough to cause the films to either crack or even peel off the underlying substrate layer. This is a particular concern in large area x-ray imaging applications based on molybdenum/amorphous silicon (Mo/a-Si:H) Schottky diodes. This family of image sensors can be used for direct detection of x rays without the need for a phosphor layer [W. Zhao and J. A. Rowlands, Med. Phys. 22, 1595 (1995)]. In these sensors, the interaction of x-ray photons with Mo leads to injections of high energy electrons into a reverse-biased a-Si:H depletion layer, thereby producing an amplified output signal due to charge multiplication. The generated charge is read out by a thin film transistor (TFT) which is composed of intrinsic amorphous silicon (i-a-Si:H) as the active channel layer, silicon nitride (a-SiNx) as the insulating layer, and highly doped microcrystalline silicon (n+μc-Si:H) as the contact layer. For example, the i-a-Si:H layer is in compressive stress with a magnitude of 0.116 GPa, whereas low temperature, low resistivity n+μc-Si:H layer is in compressive stress of 1.47 GPa. The a-SiNx layer is in tensile stress of 0.222 GPa. The heavy metals used in the x-ray detector, such as Mo and chromium (Cr) (deposited at 5 mTorr), are found to be in tensile stress of 0.807 and 0.575 GPa, respectively. This article presents the internal mechanical stresses in thin film devices used in x-ray imaging, and more importantly, how the total film stress can be reduced without undermining device performance.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,002 | 0,002 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,001 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».