Depth profile reconstructions of electronic transport properties in H+ MeV-energy ion-implanted n-Si wafers using photocarrier radiometry
Notice bibliographique
Résumé
A depth profiling technique using photocarrier radiometry (PCR) is demonstrated and used for the reconstruction of continuously varying electronic transport properties (carrier lifetime and electronic diffusivity) in the interim region between the ion residence layer and the bulk crystalline layer in H+ implanted semiconductor wafers with high implantation energies (∼MeV). This defect-rich region, which is normally assumed to be part of the homogeneous “substrate” in all existing two- and three-layer models, was sliced into many virtual thin layers along the depth direction so that the continuously and monotonically variable electronic properties across its thickness can be considered uniform within each virtual layer. The depth profile reconstruction of both carrier life time and diffusivity in H+ implanted wafers with several implantation doses (3 × 1014, 3 × 1015, and 3 × 1016 cm−2) and different implantation energies (from 0.75 to 2.0 MeV) is presented. This all-optical PCR method provides a fast non-destructive way of characterizing sub-surface process-induced electronic defect profiles in devices under fabrication at any intermediate stage before final metallization and possibly lead to process correction and optimization well before electrical testing and defect diagnosis becomes possible.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».