Laser-induced oxidation of metallic thin films as a method for creating grayscale photomasks
Notice bibliographique
Résumé
Bimetallic Bi/In films demonstrate grayscale levels after exposed with different laser powers due to controlled film oxidation. Although large optical density (OD) change from 3.0 OD to 0.22 OD at 365 nm was observed, these films show a rapid and nonlinear OD change with laser power, which is not desirable for fine control of grayscale levels. This paper aims to explore and evaluate some new metal films as possible candidates for direct-write grayscale photomask applications. Sn/In, Al/Zn, Bi/In/O and Al/In films were DC-sputtered onto glass slides and then were raster-scanned by argon CW laser. Among these films, the highest OD change at 365nm was found in Sn/In film, Al/Zn shows the most linear relation of OD to laser power modulation, and Bi/In/O has the best over-all performance as a potential grayscale mask material. A grayscale test photomask of 16×16, 20μm squares over the full OD range was made using Bi/In/O and a test exposure created squares of different heights on regular photoresist. Interference lithography using 266nm DUV has been utilized to investigate the resolution limit of these bimetallic films, which can generate much finer structures. The true resolution limit of Bi/In should be at least less than 50nm.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,001 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».