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Enregistrement W2013648316 · doi:10.1088/0963-0252/14/3/004

Co-axial ECR plasma system for radioactive ion implantation

2005· article· en· W2013648316 sur OpenAlexafffund
Marc‐André Fortin, F. Marion, B.L. Stansfield, R.W. Paynter, D.K. Sarkar, A. Sarkissian, B. Terreault

Notice bibliographique

RevuePlasma Sources Science and Technology · 2005
Typearticle
Langueen
DomaineEngineering
ThématiqueIon-surface interactions and analysis
Établissements canadiensPlasmionique (Canada)Institut National de la Recherche Scientifique
Organismes subventionnairesNatural Sciences and Engineering Research Council of Canada
Mots-clésPlasmaElectron cyclotron resonanceAtomic physicsIon implantationIonMaterials scienceArgonPlasma parametersChemistryIonizationIon sourceElectronPhysicsNuclear physics

Résumé

récupéré en direct d'OpenAlex

A pulsed, co-axial electron cyclotron resonance (ECR, 2.45 GHz) plasma reactor was designed and tested to demonstrate the feasibility of plasma-based radioactive ion implantation ( 32 P radioisotope). The geometry of the reactor was designed to produce an efficient implantation of cylindrical implants. Therefore, the reactor is cylindrical in shape, and is equipped with a cylindrical grid in a co-axial geometry. The plasma is created between the wall and the grid; the plasma surrounds the implant, allowing for a radial implantation. A 1 ms microwave pulse creates a plasma in argon, which sputters material from a radioactive cathode. A fraction of the radioisotopes is then ionized, and the ions are implanted into negatively biased metal samples. The plasma was characterized by means of electrostatic probes, giving spatial evaluations of the electron temperature, plasma potential and electron density. Titanium samples were implanted with 32 P during a study that aimed at optimizing the position of the radioactive sputter cathode in the plasma. From an analysis of the distribution of the radioactive fragments, we deduce that the plasma potential has a marked effect on the ion trajectories. In particular, it provides a more uniform implantation distribution than one would otherwise expect. For plasma densities ∼8 × 10 10 cm −3 , implantation efficiencies as high as 1% are measured; this is about 100 times higher than conventional beam-line ion implantation.

Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.

Comment cette classification a été obtenuedéplier

Prédiction machine sur la base complète

Imitation des enseignants

Ni prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.

score de la tête « metaresearch » (Codex)0,001
score de la tête « metaresearch » (Gemma)0,001
Version: metacan-v3-hybrid-931329e0061cStatut de validation: machine_predicted_unvalidated
Catégories candidatesaucune
Catégories consensuellesaucune
DomaineSignal candidat: aucune · Signal consensuel: aucune
Devis d'étudeSignal candidat: Expérimental (laboratoire) · Signal consensuel: Expérimental (laboratoire)
GenreSignal candidat: Empirique · Signal consensuel: Empirique
Score de désaccord entre enseignants0,003
Score d'incertitude au seuil0,012

Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)

CatégorieCodexGemma
Métarecherche0,0010,001
Méta-épidémiologie (sens strict)0,0000,000
Méta-épidémiologie (sens large)0,0000,000
Bibliométrie0,0000,000
Études des sciences et des technologies0,0000,000
Communication savante0,0000,000
Science ouverte0,0010,001
Intégrité de la recherche0,0010,000
Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger)0,0030,002

Scores machine (provisoires)

Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.

Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.

Tête enseignante Opus0,006
Tête enseignante GPT0,226
Écart entre enseignants0,220 · la distance entre les deux têtes enseignantes sur ce seul travail
Statut de validationscore_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle

Classification

machine, non validée

Prédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.

Les modèles n’ont appliqué aucune catégorie : rien dans la taxonomie ne correspondait à ce travail.
Devis d'étudeExpérimental (laboratoire)
Domainenon disponible
GenreEmpirique

Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».

En bref

Citations3
Publié2005
Routes d'admission2
Résumé présentoui

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