Co-axial ECR plasma system for radioactive ion implantation
Notice bibliographique
Résumé
A pulsed, co-axial electron cyclotron resonance (ECR, 2.45 GHz) plasma reactor was designed and tested to demonstrate the feasibility of plasma-based radioactive ion implantation ( 32 P radioisotope). The geometry of the reactor was designed to produce an efficient implantation of cylindrical implants. Therefore, the reactor is cylindrical in shape, and is equipped with a cylindrical grid in a co-axial geometry. The plasma is created between the wall and the grid; the plasma surrounds the implant, allowing for a radial implantation. A 1 ms microwave pulse creates a plasma in argon, which sputters material from a radioactive cathode. A fraction of the radioisotopes is then ionized, and the ions are implanted into negatively biased metal samples. The plasma was characterized by means of electrostatic probes, giving spatial evaluations of the electron temperature, plasma potential and electron density. Titanium samples were implanted with 32 P during a study that aimed at optimizing the position of the radioactive sputter cathode in the plasma. From an analysis of the distribution of the radioactive fragments, we deduce that the plasma potential has a marked effect on the ion trajectories. In particular, it provides a more uniform implantation distribution than one would otherwise expect. For plasma densities ∼8 × 10 10 cm −3 , implantation efficiencies as high as 1% are measured; this is about 100 times higher than conventional beam-line ion implantation.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,001 |
| Intégrité de la recherche | 0,001 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,003 | 0,002 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule source (Gemma direct ou Codex distillé), pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».