High repetition rate femtosecond laser forming sub-10 µm diameter interconnection vias
Pourquoi ce travail est dans la base
Une base qui oublie comment elle a trouvé un travail ne peut pas être vérifiée. Voici les voies qui ont admis celui-ci.
Notice bibliographique
Résumé
Laser ablative microvia formation has been widely accepted as an effective manufacturing method for interconnect via formation. Current conventional nanosecond laser microvia formation has reached its limit in terms of minimum via diameter and machining quality. Femtosecond laser has been investigated intensively for its superior machining quality and capability of producing much smaller features. However, the traditional femtosecond laser has very low power and is thus unable to meet the throughput requirement. In this paper we report ablative microvia formation using femtosecond lasers at megahertz repetition rates. Laser ablation was demonstrated for the first time for sub-10 µm interconnection via drilling at a throughput of 10 000 vias per second. A systematic study of the influence of a high repetition rate in femtosecond laser micromachining of silicon was carried out. The experiments were performed using an Yb-doped fibre amplified/oscillator laser with 1030 nm wavelength in an air environment. The effects of a high repetition rate on microvia formation were observed at ∼300 fs for silicon substrates. Laser parameters along with threshold energy, via diameter, ablation depth, ablation rate and via quality were studied in detail to accentuate the need of femtosecond lasers for forming sub-10 µm diameter microvias. The experimental results show that femtosecond laser pulses with high repetition rates show unequivocally the advantages of short-pulse laser ablation for high-precision applications in micrometre-scale dimensions.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,001 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découle