Synthesis of Narrow Molecular Weight Distribution Norbornene-Lactone Functionalized Polymers by Nitroxide-Mediated Polymerization: Candidates for 193-nm Photoresist Materials
Notice bibliographique
Résumé
One hundred ninety three-nanometer candidate photoresist materials were synthesized by nitroxide-mediated polymerization (NMP). Statistical copolymerizations of 5-methacryloyloxy-2,6-norboranecarbolactone (NLAM) with 5–10 mol% of controlling co-monomers (which are necessary for controlled polymerizations of methacrylates by NMP with the initiator used) in the feed, such as styrene (ST), p-acetoxystyrene (AcOST), 2-vinyl naphthalene (VN) and pentafluorostyrene (PFS), using the unimolecular BlocBuilder® initiator in 35 wt% dioxane solution at 90 °C were performed. As little as 5 mol% controlling comonomer in the feed was demonstrated to be sufficient to lead to linear evolution of number average molecular weight with respect to conversion up to 50%, and the resulting copolymers had dispersities of ~1.3 in most cases, an attractive feature for reducing line width roughness (LWR) in photoresists. The copolymers generally showed relatively low absorbance at 193 nm, comparable to other 193-nm candidate photoresists reported previously, despite the inclusion of a small amount of the styrenic co-monomers in the copolymer.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,001 | 0,001 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,001 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,008 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».