Effect of deposition temperature on the optical transmission and paramagnetic centers in pulsed laser deposited amorphous silicon carbide thin films
Notice bibliographique
Résumé
The optical transmission and paramagnetic centers in pulsed laser deposited amorphous silicon carbide films were investigated as a function of the deposition temperature (Td). As Td is raised from 200 to 650 °C, the optical gap of the films increases from about 2.0 eV up to a value of 2.2 eV, while the density of paramagnetic defects, measured by electron paramagnetic resonance (EPR), diminishes from (5.6 to 3.6)×1020 spins/cm3. EPR line shape analyses and g-value measurements indicate that the EPR active centers are clustered sp2 carbon related defects. At a measurement temperature of −190 °C, the exchange narrowed EPR linewidth, evaluated at 5.0±0.3 G, is nearly independent of Td. However, at room temperature, the EPR linewidth was found to increase with deposition temperature, thus suggesting a decrease in the size of the sp2 bonded clusters. All the structural changes revealed by EPR, as Td was raised from 200 to 650 °C, correlate well with the optical transmission data and with the increase in heteronuclear SiC bonding revealed by Fourier transform infrared spectroscopy. Finally, analysis of the thermal dependence of the EPR linewidth together with the conductivity of the a-SiC films have revealed the existence of different conduction mechanisms in the layers, depending on the deposition temperature.
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Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
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score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».