On-chip replication of high-sag micro-optical components fabricated by direct laser writing
Notice bibliographique
Résumé
This paper describes the fabrication of very high-sag (up to 42 μm) microlenses by direct laser writing and their integration onto a simple microoptical bench processed by conventional microfabrication technologies pertaining to MOEMS. At the heart of such a work is INO's laser writer. It is based on a He-Cd laser operating at 442 nm whose intensity can be modulated up to 1024 levels, and on a 40 nm accuracy X-Y translation stage. Laser writing into thick photoresist layers introduces however particular problems in terms of the roughness achievable. Simulations show that the writing beam diameter, the line-to-line spacing and the translation stage accuracy contribute to some unavoidable residual roughness. By applying optimized laser writing parameters, arrays of 1 x 5 aspherical microlenses were fabricated in a thick positive photoresist, along with alignment marks concurrently generated for on-chip alignment purposes. The microlenses were successfully integrated with a microoptical bench by first generating a UV-transparent mold from the photoresist laser written master. The microlenses imprinted in the mold were then replicated in a layer of hybrid glass material cast on the microoptical bench by UV-embossing with a modified MA6 mask aligner. The uniformity of focal lengths was approximately 3% as determined from best fits of profilometric traces. The replication with alignment of this array in a hybrid glass material was demonstrated on a 12 mm x 12 mm microoptical bench chip. An alignment accuracy of less than 5 μm was obtained. The replication error was less than about 4%. The measured surface roughness was 50-60 nm RMS, in good agreement with simulation results.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Étiquettes directes de modèles (non validées)
Étiquettes de catégorie et de devis d'étude par modèle, issues des rondes d'étiquetage. C'est une sortie machine, non validée, et le désaccord entre modèles est livré comme donnée. Aucun devis ici n'est encore validé contre MEDLINE.
| Bras | Catégories | Devis d'étude | Confiance |
|---|---|---|---|
| gemma | aucune catégorie Domaine: non disponible · Genre: Empirique Porte sur le système de recherche canadien: non · Porte sur un sujet canadien: non | Expérimental (laboratoire) | low |
| gpt | aucune catégorie Domaine: non disponible · Genre: Empirique Porte sur le système de recherche canadien: non · Porte sur un sujet canadien: non | Expérimental (laboratoire) | high |
Prédiction machine sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Le volet Gemma est une étiquette directe du modèle pour chaque travail de la base, lue sur la notice réduite au titre. Le volet Codex est un classifieur appris des 10 348 étiquettes directes de Codex et calibré sur les taux pondérés de l'échantillon; les champs sans appui suffisant ne portent aucun appel Codex. Le mode candidate est l'union des deux volets; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont pas des étiquettes humaines.
Scores du classifieur distillé par catégorie (deux têtes)
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,000 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,001 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,001 | 0,001 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéeÉtiqueté directement par 2 modèles lisant le dossier complet.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».