Common-mode-rejection demodulation lock-in technique for high-resolution characterization of ion implantation in silicon wafers
Notice bibliographique
Résumé
In this article, we present the use of frequency-scan and lock-in common-mode-rejection demodulation (CMRD) laser photothermal radiometry to the study of B+, P+, and As+, ion implanted silicon wafers, with and without surface-grown oxides. The implantation energy of the wafers was 100 keV in all the wafers and doses ranged between 1×1011–1×1013 ions/cm2. The CMRD technique is a new demodulation method that was tested after a theoretical study and its implementation in hardened Zr–2.5Nb samples. This technique is applied to silicon ion-implantation monitoring and we report a superior signal resolution in dose range where the conventional frequency scans essentially overlapped: B+ implants in the dose range 1×1012–1×1013 ions/cm2, and P+ implants in the 1×1011–1013 ions/cm2 range. In all other cases where conventional frequency scans could resolve implantation doses, CMRD did not present any significant resolution advantages. It was further established that the pulse separation increment δΔ is the critical CMRD wave form parameter, which controls dose resolution through substantial signal background and noise suppression. The dose resolution improvements afforded by the CMRD technique may be important toward better control of the ion-implantation process in electronic devices, in a dose range which has traditionally been difficult to monitor optically owing to the effects introduced by the early stages of the amorphization process in the implanted layer.
Récupéré en direct depuis OpenAlex et désinversé. Les résumés ne sont pas conservés dans cette base de données : les index inversés représentent 8,6 Go des 9,3 Go de texte de la base, et le serveur dispose de 13 Go libres.
Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,001 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,000 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».