Extremely high aspect ratio GaAs and GaAs/AlGaAs nanowaveguides fabricated using chlorine ICP etching with N<sub>2</sub>-promoted passivation
Notice bibliographique
Résumé
Semiconductor nanowaveguides are the key structure for light-guiding nanophotonics applications. Efficient guiding and confinement of single-mode light in these waveguides require high aspect ratio geometries. In these conditions, sidewall verticality becomes crucial. We fabricated such structures using a top-down process combining electron beam lithography and inductively coupled plasma (ICP) etching of hard masks and GaAs/AlGaAs semiconductors with Al concentrations varying from 0 to 100%. The GaAs/AlGaAs plasma etching was a single-step process using a Cl(2)/BCl(3)/Ar gas mixture with various fractions of N(2). Scanning electron microscope (SEM) observations showed that the presence of nitrogen generated the deposition of a passivation layer, which had a significant effect on sidewall slope. Near-ideal vertical sidewalls were obtained over a very narrow range of N(2), allowing the production of extremely high aspect ratios (>32) for 80 nm wide nanowaveguides.
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Comment cette classification a été obtenuedéplier
Prédiction distillée sur la base complète
Imitation des enseignantsNi prévalence calibrée, ni vérité terrain. Validation humaine à venir. Apprise à partir de 10 348 étiquettes directes de Codex et de 10 348 étiquettes directes de Gemma. Le mode candidate est l'union des têtes enseignantes seuillées; le consensus est leur intersection. Ces sorties portent le statut machine_predicted_unvalidated et ne sont ni des étiquettes humaines ni des étiquettes directes de modèles de pointe.
Scores Codex et Gemma par catégorie
| Catégorie | Codex | Gemma |
|---|---|---|
| Métarecherche | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens strict) | 0,000 | 0,000 |
| Méta-épidémiologie (sens large) | 0,000 | 0,000 |
| Bibliométrie | 0,000 | 0,001 |
| Études des sciences et des technologies | 0,000 | 0,000 |
| Communication savante | 0,000 | 0,000 |
| Science ouverte | 0,000 | 0,000 |
| Intégrité de la recherche | 0,000 | 0,001 |
| Charge utile insuffisante (le modèle a refusé de juger) | 0,000 | 0,000 |
Scores machine (provisoires)
Les deux têtes enseignantes du modèle étudiant, lues sur ce travail. Un score ordonne la base pour la relecture; il n'affirme jamais une catégorie, et le statut de validation accompagne chaque rangée tel quel.
Scores de référence d'un modèle non mature (critères de maturité non atteints, 7 itérations). Un score ordonne; il n'affirme jamais une catégorie.
score_only:v0-immature-baseline · tel quel depuis la passe de notation : score_only signifie que le nombre peut ordonner les travaux, et qu'aucune étiquette de catégorie n'en découleClassification
machine, non validéePrédiction automatique; un appel candidat d’une seule tête enseignante, pas un consensus.
Le détail, modèle par modèle et score par score, se trouve en fin de page sous « Comment cette classification a été obtenue ».